伏木豊司

対向ターゲットスパッタ方式を使った独自の薄膜作製技術を持っています。 プラズマ空間と基板を分離することができ、低温の成膜が可能です。 プラズマフリーの基板上に反応性スパッタも高度な制御で可能です。